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J-GLOBAL ID:201302242073182245   整理番号:13A1115931

プレーナー型光導波路詳細配列段階の運動誤差感受性分析

Motion Error Sensitivity Analysis of Planar Optical Waveguide Precise Aligning Stage
著者 (4件):
資料名:
巻: 23  号:ページ: 888-892,896  発行年: 2012年 
JST資料番号: C2243A  ISSN: 1004-132X  CODEN: ZJGOE8  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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繊維配列と導波路チップの配列過程において,多DOF詳細運動段階の運動精度は,直接結合効率に影響を与える。多体動力学理論を採用して,運動段階の各々の誤差源を分析する。多DOF詳細運動段階の誤差モデルを構築する。分散に基づくSobol方式を用い感受性分析を開発する。そして,各々の方向での各々の誤差パラメータの嵌入度合を誘導する。実験結果はモデリング法と感度解析法が利用できることを示す。そしてそれは解法が適用できることを意味する。感受性分析は,運動精度管理,誤差補償分析とシステムの最適化のためのデータを提供できる。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST
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分類 (1件):
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ロボットの運動・制御 
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