ポリアミノ酸を用いて作製した圧力センサアレイ

UEMURA Sei; WATANABE Yuichi; YOSHIDA Manabu; TOKUHISA Hideo; TAKADA Noriyuki

文献

J-GLOBAL ID：201302242548664932 整理番号：13A1200138

ポリアミノ酸を用いて作製した圧力センサアレイ

Pressure Sensor Array Fabricated with Polyamino Acid

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著者 (5件)： , , , ,
資料名：
巻： 26 号： 3 ページ： 411-414 発行年： 2013年
JST資料番号： L0202A ISSN： 0914-9244 CODEN： JSTEEW 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

α-ヘリックスと呼ばれる剛直棒状分子構造をもつポリアミノ酸を基板に適用しフィルムを形成するとメソゲンとして作用し分子軸は基板表面に平行に配列する。このフィルムは強誘電性を示しこれを利用して強誘電性記憶デバイスを作製できる。このフィルムを圧電材料として使用するには規則的配列とともに圧力誘起分極量を増加させることが重要である。ITO/PET基板上のポリアミノ酸は負荷をかけた時双極子能率の変形により起電力が発生し負荷を除去した時マイナスの電圧が発生することを確認した。印刷によってセンサを作製するには圧電層を下部電極上に形成する必要があり,電極上の強誘電体層の形成は電極表面に強く依存する。約50μm厚のスクリーン印刷した下部電極を圧電体層で完全に覆うことは困難であり,端面で電流の漏れがあった。この電流の漏れを回避し,薄い圧電層を使用可能にする新しい構造を採用してデバイス収率を100%近くに上げることができた。この方法によりプラスチック基板上に16×16の圧力センサアレイを作製した。

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力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器 , 印刷

引用文献 (9件)：

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5. P. F. Baude, D. A. Ender, M. A. Haase, T. W. Kelley, D. V. Muyres, S. D. Theiss, Appl. Phys. Lett., 82 (2003) 3964.

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