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J-GLOBAL ID:201302242657484480   整理番号:13A1021369

電子直接検出カメラ(direct electron detector)のTEMへの応用

著者 (2件):
資料名:
巻: 48  号:ページ: 57-60  発行年: 2013年04月30日 
JST資料番号: Y0541A  ISSN: 1349-0958  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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CMOSイメージセンサを用いた,電子直接検出カメラ(direct electron detector:DED)が開発された。CMOSイメージセンサは,検出器と増幅器がオンチップ上で構成された撮像素子である。DEDは,CCDに比べて高い解像度と感度を持ち,次世代の透過電子顕微鏡用の撮像媒体として注目されている。また連続高速撮影が可能なため,試料経時観察やドリフト補正などにも利用される。本稿ではDEDの仕組みと性能,そしてこれを利用した最近の応用研究を紹介した。
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分類 (1件):
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電子顕微鏡,イオン顕微鏡 
引用文献 (11件):
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