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J-GLOBAL ID：201302242665840490   整理番号：13A0652086

ナノ積層コーティングとレーザ表面テクスチャリングの複合化による2元系金属膜のトライボ特性について

著者 (4件)： 古山道生 (東理大 院) ,  加藤慎治 (KYB) ,  坪井涼 (東京理大) ,  佐々木信也 (東京理大)
資料名： 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集
巻： 4th  ページ： 187-188  発行年： 2012年10月21日 
JST資料番号： L8358A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： PVDスパッタリング法により100層からなる銅,モリブデン積層膜を成膜した。さらに,レーザー加工によるテクスチャと積層膜を組み合わせたサンプルを作成し,LSTおよび積層膜の複合化による摩擦低減を試みた。各単層膜,積層膜およびLSTを組み合わせた積層膜に対して,添加剤入校正油およびPAOを用いて摺動試験を行った。摺動試験後のサンプルの摺動痕を,SEM-EDSにより観察した。(著者抄録)

シソーラス用語： *ナノ構造 ,  被覆 ,  層 ,  レーザ照射 ,  表面構造 ,  二元合金 ,  金属薄膜 ,  *トライボロジー ,  物理蒸着 ,  スパッタリング ,  銅 ,  モリブデン ,  *テキスチャード加工 ,  多層膜

分類 (1件)： 潤滑一般  (QB02010S)

タイトルに関連する用語 (5件)： コーティング ,  レーザ ,  表面テクスチャリング ,  複合化 ,  金属膜