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J-GLOBAL ID:201302243054942642   整理番号:13A1149107

生物模倣平均棍 マイクロ自律システム用角速度センサ

Biologically-Inspired, Haltere, Angular-Rate Sensors For Micro-Autonomous Systems
著者 (7件):
資料名:
巻: 8373  ページ: 83731K.1-83731K.13  発行年: 2012年 
JST資料番号: D0943A  ISSN: 0277-786X  CODEN: PSISDG  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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小型自律飛行ロボットは,自律性を得る為に航法センサを必要とする。ガガンボの平均棍にヒントを得て,MEMSベース平均棍ンサを開発した。平均棍機能を分析し,モデリングを行った。圧電駆動梁,高アスペクト比梁,振り子質量から構成したMEMS角速度センサを設計し,有限要素解析した。FIB技術を用いてPZT/Cu MEMS平均棍を試作し,動的性能評価を行った。
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
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準シソーラス用語:
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分類 (4件):
分類
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ロボットの設計・製造・構造要素  ,  ロボットの運動・制御  ,  時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (4件):
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