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J-GLOBAL ID:201302243862678715   整理番号:13A1037731

積層厚膜SU-8ドライフィルムレジストで成形した深型流路を持つ吸光測定用マイクロフローセル

著者 (9件):
資料名:
巻: 93rd  号:ページ: 414  発行年: 2013年03月08日 
JST資料番号: S0493A  ISSN: 0285-7626  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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SU-8ドライフィルムを積層した圧膜レジストを用いてソフトリソグラフィーを行い,深型流路構造を持つポリジメチルシロキサンのマイクロ流体チップを成形した。流路深さの大きさは光路長の長さに直結するため,深型流路構造は従来のUもしくはZ状の流路形状を取る吸光測定用マイクロ流体チップとほぼ同等の検出感度を汎用的な光学系において達成することに成功した。(著者抄録)
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分類 (2件):
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分析機器  ,  分光分析 

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