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J-GLOBAL ID：201302244290028931   整理番号：13A0506204

シリコンマイクロジャイロスコープアレイのシミュレーション,設計,およびテスト

Simulation,Design and Test of Silicon Micro-Gyroscope Array

著者 (4件)： Zhang Yinqiang (Key Lab. of Micro-Inertial Instrument and Advanced Navigation Technol.,Ministry of Education, Nanjing) ,  Yang Bo (Key Lab. of Micro-Inertial Instrument and Advanced Navigation Technol.,Ministry of Education, Nanjing) ,  Li jing (Key Lab. of Micro-Inertial Instrument and Advanced Navigation Technol.,Ministry of Education, Nanjing) ,  Wang Shourong (Key Lab. of Micro-Inertial Instrument and Advanced Navigation Technol.,Ministry of Education, Nanjing)
資料名： Chuangan Jishu Xuebao  (Chuangan Jishu Xuebao)
巻： 25  号： 1  ページ： 29-32  発行年： 2012年 
JST資料番号： C2450A  ISSN： 1004-1699  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： シリコンマイクロジャイロスコープの精度と信頼性を改善するために,新しいマイクロジャイロスコープアレイを提案する。完全に対称の,半分分離した四角形のマス構造は,駆動と感知モードに適合した共振周波数を可能にする。動作の構造と原理を分析した。ジャイロスコープの構造シミュレーションを,有限要素ソフトウエアANSYSを利用することによって実施した。駆動モードと検知モードのための共振周波数を,構造パラメータを調整することによって合わせた。ジャイロスコープの駆動と検知周波数をテストした。テスト結果は,駆動モードが3つの振動タイプを有し,逆位相モードの振幅が最も大きい振幅で,シミュレーション解析と一致する。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： *ケイ素 ,  *ジャイロスコープ ,  シミュレーション ,  共振周波数 ,  振幅 ,  ソフトウェア
準シソーラス用語： *シリコン

分類 (1件)： 計測機器一般  (AD02000X)

タイトルに関連する用語 (3件)： シミュレーション ,  設計 ,  テスト