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J-GLOBAL ID：201302249901557295   整理番号：13A0228982

プラズマ活性化高速電子ビーム物理蒸着(EBPVD)による金属ストリップ上への機能性及び装飾性コーティング

Functional and Decorative Coatings onto Metal Strips Deposited by Plasma-Activated High-Rate Electron Beam Physical Vapor Deposition (EBPVD)

著者 (4件)： METZNER C. (Fraunhofer Inst. Electron Beam and Plasma Technol. FEP, Dresden, DEU) ,  SCHEFFEL B. (Fraunhofer Inst. Electron Beam and Plasma Technol. FEP, Dresden, DEU) ,  MORGNER H. (Fraunhofer Inst. Electron Beam and Plasma Technol. FEP, Dresden, DEU) ,  ZYWITZKI O. (Fraunhofer Inst. Electron Beam and Plasma Technol. FEP, Dresden, DEU)
資料名： Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters  (Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters)
巻： 55th  ページ： 663-668  発行年： 2012年 
JST資料番号： E0063B  ISSN： 0737-5921  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多くの被膜はPVDによって作製でき,酸化物や窒化物はプラズマ誘起PVDで製膜できる。高速PVDを用いて,金属ストリップ上に4種類の機能性及び装飾性コーティングを施した。ステンレス鋼に蒸着した二酸化チタンの結晶質薄膜はアナターゼ構造を持ち,超親水性を有するだけではなく,紫外線照射により光触媒作用を示した。反射率は2.3~2.5で高性能を有する。窒化チタン薄膜は極めて硬い(30GPa)だけでなく特徴的な色相を呈した。石英ガラス薄膜は鋼のスクラッチ抵抗を大きく改善した。装置の概要とこれらの被膜の代表的な特性を示した。

シソーラス用語： *電子ビーム蒸着 ,  プラズマ ,  帯板 ,  *蒸着膜 ,  堆積速度 ,  酸化チタン ,  アナターゼ ,  親水性 ,  光触媒反応 ,  反射率 ,  *窒化物 ,  *チタン化合物 ,  色相 ,  石英ガラス ,  硬度
準シソーラス用語： スクラッチ ,  窒化チタン

分類 (1件)： 薄膜一般  (BK14010X)

タイトルに関連する用語 (7件)： プラズマ ,  活性化 ,  電子ビーム物理蒸着 ,  金属ストリップ ,  機能性 ,  装飾 ,  コーティング