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J-GLOBAL ID:201302250231809300   整理番号:11A0022297

電極間隙幅の陰極点を用いた酸化物除去におけるエネルギー効率の変化

Variation of energy efficiency in oxide removal using cathode spots with electrode-gap width
著者 (3件):
資料名:
巻: 11  号:ページ: 149-159  発行年: 2007年 
JST資料番号: O2621A  ISSN: 1093-3611  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: その他 (ZZZ)  言語: 英語 (EN)
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