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J-GLOBAL ID：201302252035390670   整理番号：12A1798890

オプトエレクトロニック2層マイクロカンチレバーを使ったナノスケールの比熱容量測定

Nanoscale specific heat capacity measurements using optoelectronic bilayer microcantilevers

著者 (4件)： BURKE Brian G. (Functional Properties Group, Ceramics Div., Material Measurement Lab., National Inst. of Standards and Technol. ...) ,  LAVAN David A. (Functional Properties Group, Ceramics Div., Material Measurement Lab., National Inst. of Standards and Technol. ...) ,  GATES Richard S. (Nanomechanical Properties Group, Ceramics Div., Material Measurement Lab., National Inst. of Standards and Technol. ...) ,  OSBORN William A. (Nanomechanical Properties Group, Ceramics Div., Material Measurement Lab., National Inst. of Standards and Technol. ...)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 101  号： 24  ページ： 243112-243112-3  発行年： 2012年12月10日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノスケールの比熱容量測定に使う2層マイクロカンチレバー(BMC)を高温まで光学的・電気的に検出し,加熱する手法について述べた。白金と窒化ケイ素(Pt-SiN_x)のBMCは同時にヒータ,温度センサ,及び質量センサ(24pg分解能)として作用する。蒸着したアルミニウムナノ粒子の融点と比熱空間の測定により,12.6ngの質量に対してこのシステムのキャリブレーションを行った。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 片持梁 ,  *比熱 ,  *白金 ,  *窒化ケイ素 ,  多層膜 ,  加熱器 ,  温度センサ ,  センサ ,  アルミニウム ,  蒸着膜 ,  ナノ粒子 ,  融点 ,  キャリブレーション ,  リソグラフィー
準シソーラス用語： *マイクロカンチレバー ,  *二層膜 ,  加熱ヒータ ,  質量センサ

分類 (2件)： 熱量測定,熱量計  (AD06030G) ,  金属の比熱・熱伝導  (BL05022V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 2層 ,  マイクロカンチレバー ,  ナノスケール ,  比熱容量