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J-GLOBAL ID：201302252059526832   整理番号：13A1791755

窒化アルミ・フォノニック結晶の中での超高周波数共振キャビティ

Ultra high Frequency Resonant Cavity in Aluminum Nitride Photonic Crystals

著者 (2件)： KUO Nai-Kuei (Univ. Penlsylvania, Philadelphia, USA) ,  PIAZZA Gianluca (Carnegie Mellon Univ., Pittsburgh, USA)
資料名： IEEE International Ultrasonics Symposium  (IEEE International Ultrasonics Symposium)
巻： 2012 Vol.2  ページ： 1236-1239  発行年： 2012年 
JST資料番号： A0437C  ISSN： 1948-5719  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 不均一構造を通して,フォトンの振動と伝搬を操作することができるメタ材料であるフォノニック結晶について検討した。窒化アルミ(AlN)スパッタフィルムにおける超高周波フォノニック結晶共振キャビティについて調べた。有限要素法を用いて,フォノニックバンドギャップを設計した。AlNの厚さは1μm,周波数範囲は650-1000MHzである。フォノニック結晶に対し,半径を2.1μmに設定した。全体の性能は既存のAlNLamb波デバイスより低かった。トランスデューサに対する機械的結合を最適化することによって改善できる余地があることがわかった。

シソーラス用語： 結晶 ,  有限要素法 ,  *HF【周波数】 ,  窒化アルミニウム ,  Lamb波 ,  変換器 ,  *共振
準シソーラス用語： トランスデューサ ,  *フォノニック結晶 ,  高周波 ,  窒化アルミ

分類 (2件)： 音波伝搬  (BB03030G) ,  音響の励起・発生  (BB03020V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 窒化アルミ ,  フォノニック結晶 ,  高周波数 ,  共振 ,  キャビティ