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J-GLOBAL ID:201302252078129160   整理番号:13A1340618

超低電力ロジックの信頼性のある微小電気機械(MEM)スイッチ設計

Reliable Micro-Electro-Mechanical (MEM) Switch Design for Ultra-Low-Power Logic
著者 (4件):
資料名:
巻: 2013 Vol.2  ページ: 614-618  発行年: 2013年 
JST資料番号: A0631A  ISSN: 1541-7026  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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分類 (2件):
分類
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固体デバイス製造技術一般  ,  継電器・スイッチ 
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