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J-GLOBAL ID:201302252903410888   整理番号:13A0865135

マイクロスケール引張試験に適用される力領域アナログ-ディジタル変換器

A Force Domain Analog-to-Digital Converter Applied to Microscale Tensile Test
著者 (2件):
資料名:
巻: 53  号:ページ: 795-806  発行年: 2013年06月 
JST資料番号: D0405A  ISSN: 0014-4851  CODEN: EXMCA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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サブミクロン薄膜あるいは類似の小規模構造物の機械的特性化は,適用される荷重およびその結果の変形を正確に定量化が難しいことによって,力学社会において連続的に検討されている。本文では,薄膜引張試験を行なうために,エレクトロニクスにおけるフラッシュADCの概念から作成した新しい力領域アナログ-ディジタル変換器(F-D ADC)を開発した。F-D ADCのキー構成要素は,可変長さの微細加工した座屈梁の量子化器アレイである。試験において,試験片に適用された引張力を量子化器梁における圧縮力に変換し,力振幅の増加によって,それらが進行的に座屈するとき,梁の限界座屈荷重を用いて,ディジタル化した。試験片の変形は圧電アクチュエータによって制御した。(110)単結晶ケイ素およびチタン/ニッケル(Ti/Ni)多層薄膜試験片の試験を行ない,この新しいF-D ADC概念に実現可能性を検証した。Copyright 2012 Society for Experimental Mechanics Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (2件):
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金属薄膜  ,  材料試験 

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