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J-GLOBAL ID：201302252944333570   整理番号：13A0393469

Fabrication of microcoils with narrow and high aspect ratio coil lines

著者 (4件)： HATTORI T ,  KOBAYASHI Y ,  SETOMOTO M ,  NODA D
資料名： MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS
巻： 16  号： 8-9  ページ： 1479-1483  発行年： 2010年 
JST資料番号： O3892A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (1件)： COIL