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J-GLOBAL ID：201302252979879265   整理番号：13A0589364

酸素浸透誘発性のあるナノスケールのニオブ/チタン多層膜の大きい硬さ向上

Oxygen-penetration-induced large hardness enhancement in nanoscale Nb/Ti multilayers

著者 (2件)： Zhao Yuxin (Advanced Material Lab., Dep. of Materials Sci. & Engineering, Tsinghua Univ., Beijing) ,  Lai Wensheng (Advanced Material Lab., Dep. of Materials Sci. & Engineering, Tsinghua Univ., Beijing)
資料名： Acta Metallurgica Sinica  (Acta Metallurgica Sinica)
巻： 25  号： 2  ページ： 141-152  発行年： 2012年 
JST資料番号： C5023A  ISSN： 1006-7191  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マグネトロンスパッタリング蒸着法により,種々の調整時間をもたせたニオブ/チタン多層膜を調製した。微細組織および機械的性質をXRD,SEM,およびナノインデンテーション法によって調べた。試料の硬さは,調整波長(Λ)の低下に伴い増加し,その後短いΛで落ちることが判明した。文献によって他の結果を精査すると,弾性率に一致しないことよりむしろ応力に適合することが,体心立方-六方最密の多層膜のΛ減少にともなう硬さの向上にとって,一層重要な役割をもつことが判明した。400°C,30分間の低(または高)真空中の試料の焼鈍によって,硬さが大きく(または,多少)向上するが,一方,調製された組織をそのまま維持していた。オージェ電子分光法によって明らかなように,低真空中での焼鈍により多層膜へ酸素浸透したことが判明した。しかし金属板の抵抗値はほとんど変化しなかった。XRDの結果,いくつかのニオブ酸化物をニオブ層に形成し,酸素がチタン層の格子間に分布したことを示唆した。焼鈍後の大きい硬さ向上は,主として多層膜におけるナノスケールのニオブ酸化物および格子間侵入酸素の分散的分布による強化のためである。加えて,焼鈍の後に隣接する層間の界面は,より一層明確に区分でき,これにより層状組織の優れた熱安定性を示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： 規模 ,  ニオブ ,  *多層膜 ,  ナノインデンテーション ,  スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  Auger分光法 ,  酸化ニオブ ,  機械的性質 ,  微細構造 ,  熱安定性
準シソーラス用語： ナノスケール ,  スパッタリング蒸着法 ,  マグネトロンスパッタ ,  Auger電子分光法 ,  ニオブ酸化物 ,  微細組織

分類 (1件)： 機械的性質  (WB02030U)

タイトルに関連する用語 (6件)： 酸素 ,  浸透 ,  ナノスケール ,  ニオブ ,  チタン ,  多層膜