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J-GLOBAL ID：201302252984592926   整理番号：13A0823170

大体積除去の高速損傷解析および実時間画像処理に対する新しいプラズマFIB/SEM

Novel plasma FIB/SEM for high speed failure analysis and real time imaging of large volume removal

著者 (6件)： HRNCIR T. (TESCAN a.s., Brno, CZE) ,  LOPOUR F. (TESCAN a.s., Brno, CZE) ,  ZADRAZIL M. (TESCAN a.s., Brno, CZE) ,  DELOBBE A. (Orsay Physics S.A., Fuveau, FRA) ,  SALORD O. (Orsay Physics S.A., Fuveau, FRA) ,  SUDRAUD P. (Orsay Physics S.A., Fuveau, FRA)
資料名： Conference Proceedings from the International Symposium for Testing and Failure Analysis  (Conference Proceedings from the International Symposium for Testing and Failure Analysis)
巻： 38th  ページ： 26-29  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0658B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *損傷力学 ,  実時間処理 ,  *画像処理 ,  *プラズマ応用 ,  集束イオンビーム ,  走査電子顕微鏡

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (7件)： 体積 ,  損傷解析 ,  実時間 ,  画像処理 ,  プラズマ ,  FIB ,  SEM