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J-GLOBAL ID：201302253069348165   整理番号：13A1031544

MEMS熱膜センサに基づく高感度,小型,フル2D風速計

High Sensitivity, Miniature, Full 2-D Anemometer Based on MEMS Hot-Film Sensors

著者 (7件)： LIU Hao-Bing (Nanyang Technological Univ., Singapore) ,  LIN Nay (Nanyang Technological Univ., Singapore) ,  PAN Shan-Shan (Nanyang Technological Univ., Singapore) ,  PAN Shan-Shan (Singapore-MIT Alliance for Res. and Technol., Singapore) ,  MIAO Jianmin (Nanyang Technological Univ., Singapore) ,  NORFORD Leslie K. (Singapore-MIT Alliance for Res. and Technol., Singapore) ,  NORFORD Leslie K. (Massachusetts Inst. Technol., MA, USA)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 13  号： 5-6  ページ： 1914-1920  発行年： 2013年05月 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 複数のMEMS熱膜センサチップをプローブ構造上に設置し,速度と方向を測定する風速計を開発した。様々なプローブ構造とセンサ数に関する実験結果に基づいて最適条件を決定し,直径が6mmの円筒プローブ上に120°間隔で3つの熱膜センサを配置した。Si基板に加熱素子を集積化した。局所気流の速度と擾乱はセンサ位置によって異なるので,各熱膜センサは異なる熱流束を得,この差から風向と風速を推定した。風速精度は3.6%,風向精度は1.2°であった。

シソーラス用語： MEMS ,  *熱線風速計 ,  高感度 ,  小型 ,  二次元 ,  円筒 ,  *風速 ,  *風向 ,  測定精度 ,  熱流束 ,  最適条件 ,  センサアレイ ,  素子構造
準シソーラス用語： Si基板 ,  熱センサ ,  熱膜流速計

分類 (1件)： 局地循環,気流  (DC05090N)

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  膜センサ ,  高感度 ,  2D ,  風速計