文献

J-GLOBAL ID：201302253247325077   整理番号：13A1146404

モリブデン陰極表面に蒸着したダイヤモンド薄膜の高電流電子放出

High-current electron emission of thin diamond films deposited on molybdenum cathodes

著者 (6件)： CHERNOV V.v. ,  IVANOV O.a. ,  ISAEV V.a. ,  RADISHEV D.b. ,  VIKHAREV A.l. ,  KOZLOV A.v.
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 37  ページ： 87-91  発行年： 2013年08月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ダイヤモンド及び関連する膜を利用する冷陰極の放出特性の研究結果を発表する。Ar-H₂-CH₄及びAr-H₂-CH₄-N₂ガス混合物を用いる新規ミリ波プラズマ支援CVD反応器中で膜を蒸着した。高電流陰極の放出特性を調べるために100kVまでの振幅をもつ~50ns高電圧パルスを膜に当てた。実験結果は放出特性がガス混合物中のメタン及び窒素濃度に強く依存することを示している。220A/cm²の電流密度での均一放出を達成している。調製した陰極は電子ビームトリガを利用する高出力rfパルスコンプレッサで首尾よく試験した。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 薄膜 ,  *プラズマCVD ,  窒素 ,  水素 ,  濃度依存性 ,  微細構造 ,  走査電子顕微鏡 ,  結晶構造 ,  Raman分光法 ,  隔膜法 ,  *電界放出 ,  カソード ,  モリブデン ,  *電流密度 ,  均一性 ,  アルカン
準シソーラス用語： *ダイヤモンド薄膜 ,  *冷陰極

分類 (3件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  熱電子放出,電界放出  (BM09020S)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (6件)： モリブデン ,  陰極 ,  蒸着 ,  ダイヤモンド薄膜 ,  高電流 ,  電子放出