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J-GLOBAL ID：201302253304537612   整理番号：13A1692317

ダイヤモンドワイヤ専用太陽電池ワイヤソーにおける加工技術

著者 (3件)： 石田浩之 (安永) ,  稲田稔 (安永) ,  桐生陽介 (安永)
資料名： 日本機械学会関西支部定時総会講演会講演論文集  (日本機械学会関西支部定時総会講演会講演概要集)
巻： 88th  ページ： 6.14  発行年： 2013年03月16日 
JST資料番号： L0014A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 太陽電池ウェハのスライス工程において,ウェハ製造の低コスト化とウェハ生産能力の向上を目指し,従来の遊離砥粒切削からダイヤモンドワイヤを用いた固定砥粒切削に移行しつつある。固定砥粒切削を用いることで,ワイヤ細線化・ウェハの薄肉化によるカーフロスの低減や加工能率の向上が見込め,低コスト化の実現が期待できる。本報告では,固定砥粒切削に特化した太陽電池ワイヤソーの装置概要及び加工実績の紹介並びに,当社の加工技術に対する知見を述べる。(著者抄録)

シソーラス用語： *太陽電池 ,  *鋸 ,  ウエハ【IC】 ,  砥粒 ,  ダイヤモンド ,  細線化 ,  加工
準シソーラス用語： *ダイヤモンド砥粒 ,  *ワイヤソー ,  固定砥粒 ,  高速加工 ,  薄肉化

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： ダイヤモンドワイヤ ,  太陽電池 ,  ワイヤソー