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J-GLOBAL ID:201302253363708919   整理番号:13A0829202

ステンレス鋼基板を利用した圧電マイクロエネルギーハーベスタ

Piezoelectric micro energy harvesters based on stainless-steel substrates
著者 (2件):
資料名:
巻: 22  号:ページ: 045016,1-11  発行年: 2013年04月 
JST資料番号: W0480A  ISSN: 0964-1726  CODEN: SMSTER  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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圧電マイクロエネルギーハーベスタ(PMEH)を設計し製作して,室温におけるエアロゾル成膜法によってステンレス鋼基板上に高品質なジルコニウム酸チタン酸鉛(PZT)厚膜を直接析出させた。アニーリング処理後にはこのステンレス鋼基板上のPZT厚膜は高効率なPMEH用途に優れた強誘電特性を実現した。さらに,作製したデバイスについて発電効率と電力変換性能に及ぼす空気制振のインパクトを検討するために,さまざまな圧での真空(減圧)条件下におけるこのデバイスの一連の実験を実施し,大気中における動作と比較した。これらの実験結果から,このデバイスが大気圧(760Torr)の条件下で動作して加速度レベル1.5gのときに励振周波数112.4Hzで出力電圧12.658Vp-p,最大出力パワ200.28μWを示した。一方,真空(0.01Torr)条件下での動作時には同じ加速度レベル1.5gのときに励振周波数104.4Hzで出力電圧17.027Vp-p,最大出力パワ241.60μWを示した。作製したデバイスのこのエネルギー密度は真空中動作には178.6nJmm-3,大気中では137.5nJmm-3と算出された。
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分類 (2件):
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その他の発電  ,  圧電デバイス 
タイトルに関連する用語 (3件):
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