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J-GLOBAL ID：201302253546620760   整理番号：13A0883064

SPRに基づく多層メタル膜厚みのオンラインナノ測定

Online Nanomeasurement of Multilayer Metal Films Thickness Based on SPR

著者 (6件)： Li Yanmin (School of Optical-electronical and Computer Engineering, Univ. of Shanghai for Sci. and Technol., Shanghai) ,  Li Mengchao (School of Optical-electronical and Computer Engineering, Univ. of Shanghai for Sci. and Technol., Shanghai) ,  Liu Fangfang (Shanghai Inst. of Measurement and Testing Technol., Shanghai) ,  Jin Dan (School of Optical-electronical and Computer Engineering, Univ. of Shanghai for Sci. and Technol., Shanghai) ,  Zhang Dawei (School of Optical-electronical and Computer Engineering, Univ. of Shanghai for Sci. and Technol., Shanghai) ,  Zhuang Songlin (School of Optical-electronical and Computer Engineering, Univ. of Shanghai for Sci. and Technol., Shanghai)
資料名： Guangdian Gongcheng  (Guangdian Gongcheng)
巻： 39  号： 5  ページ： 7-12  発行年： 2012年 
JST資料番号： C2092A  ISSN： 1003-501X  CODEN： GUGOEC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 最初の金属膜のSPR反射光強度曲線を分析することで,曲線に関する2つのピーク点を使用して角度をマークし,円柱状光とCCDを利用して機械的ターンテーブルなしで角度分布の反射光強度の計測システムを確立する。コンピュータで角度分布の反射光強度の曲線を得るために,CCDによって検出された光度とピクセル位置の間の情報を算出して,データベースの曲線データを一致させることで膜厚を得ることができた。この計測システムを利用することによって,Cr,Ti,Al,およびAgとしての共通金属の膜をオンライン測度に使用して,塗布順序と対応するオンライン測定範囲のナノメートル金属膜を得ることができる。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： *回線接続 ,  金属薄膜 ,  プラズマ共鳴 ,  ターンテーブル ,  コンピュータ ,  データベース ,  計測システム ,  角分布 ,  放射強度 ,  光 ,  電荷結合素子
準シソーラス用語： *オンライン ,  メタル膜 ,  SPR【共鳴】 ,  角度分布 ,  光強度 ,  反射光 ,  CCD【素子】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (5件)： SPR ,  多層 ,  メタル ,  膜厚み ,  オンライン