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J-GLOBAL ID：201302253855161923   整理番号：13A0652063

プラズマイオン注入法を用いたナノカーボン粒子形成プロセスの解明-銀薄膜構造の影響

著者 (5件)： 澤井周 (東大 大学院) ,  中原優也 (東大 大学院) ,  松本直浩 (東大) ,  CHOI Junho (東大) ,  加藤孝久 (東大)
資料名： 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集
巻： 4th  ページ： 141-142  発行年： 2012年10月21日 
JST資料番号： L8358A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： カーボンイオン注入法によって合成されるナノカーボンオニオン(NCO)粒子薄膜は,トライボロジー等各分野への応用が期待される。本研究ではNCO粒子のイオン注入による合成メカニズムを明らかにするために,加熱処理による銀薄膜の構造の変化,および各々の銀薄膜へのカーボンイオン注入によるNCO粒子の変化を考察した。銀薄膜は加熱処理によりDewetting現象が起こり島状構造に変化すること,およびイオン注入時間の延長および加熱処理による粒界サイズの増大に伴いNCO粒径が増大する傾向が得られた。(著者抄録)

シソーラス用語： プラズマ曝露 ,  イオン注入 ,  ナノ構造 ,  *炭素 ,  *粒子 ,  構成 ,  銀 ,  薄膜 ,  *トライボロジー ,  合成 ,  熱処理 ,  ナノクラスタ ,  潤滑剤

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  潤滑一般  (QB02010S)

タイトルに関連する用語 (4件)： プラズマイオン注入法 ,  ナノカーボン ,  粒子形成プロセス ,  銀薄膜