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J-GLOBAL ID：201302255041657432   整理番号：13A0048177

新規揮発性イミド-アミノアルコキシドタンタル化合物の合成および特性化

Synthesis and Characterization of Novel Volatile Imido-Aminoalkoxide Tantalum Compounds

著者 (8件)： PARK Bo Keun (Korea Res. Inst. of Chemical Technol., Daejeon, KOR) ,  KIM Hyo-Suk (Korea Res. Inst. of Chemical Technol., Daejeon, KOR) ,  SHIN Su Jung (Korea Res. Inst. of Chemical Technol., Daejeon, KOR) ,  MIN Jae Ki (Korea Res. Inst. of Chemical Technol., Daejeon, KOR) ,  LEE Kang Mun (KAIST, Daejeon, KOR) ,  DO Youngkyu (KAIST, Daejeon, KOR) ,  KIM Chang Gyoun (Korea Res. Inst. of Chemical Technol., Daejeon, KOR) ,  CHUNG Taek-Mo (Korea Res. Inst. of Chemical Technol., Daejeon, KOR)
資料名： Organometallics  (Organometallics)
巻： 31  号： 23  ページ： 8109-8113  発行年： 2012年12月10日 
JST資料番号： E0965A  ISSN： 0276-7333  CODEN： ORGND7  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： タンタルイミド化合物Ta(N^tBu)Cl₃(py)₂から出発して新規Ta(V)イミド-アミノアルコキシド錯体,Ta(N^tBu)(dmamp)₂Cl(I)およびTa(N^tBu)(dmamp)₂Me(II)を合成し,特性化を行った。X線単結晶学から,Iは歪んだ八面体構造を取っていることがわかった。熱重量分析の結果,IよりIIの方が熱特性が優れており,CVD/ALDプロセスにおいてIはHClの発生が生じたが,IIは安定であった。

シソーラス用語： *タンタル錯体 ,  イミド錯体 ,  アルコラート ,  アミノアルコール ,  錯体生成 ,  熱特性 ,  化学蒸着
準シソーラス用語： ALD【蒸着】 ,  CVD【化学蒸着】 ,  錯体合成

分類 (1件)： 第4族,第5族元素の錯体  (CE01070U)

物質索引 (1件)： 1-(ジメチルアミノ)-2-メチル-2-プロパノール

タイトルに関連する用語 (3件)： 揮発性 ,  イミド ,  特性化