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J-GLOBAL ID：201302255361370697   整理番号：13A1095619

集積多機能環境センサ

Integrated Multifunctional Environmental Sensors

著者 (8件)： ROOZEBOOM Clifton L. (Stanford Univ., CA, USA) ,  HOPCROFT Matthew A. (Hewlett-Packard Lab., CA, USA) ,  SMITH Wesley S. (Hewlett-Packard Lab., CA, USA) ,  SIM Joo Yong (Stanford Univ., CA, USA) ,  WICKERAAD David A. (Stanford Univ., CA, USA) ,  WICKERAAD David A. (Hewlett-Packard Lab., CA, USA) ,  HARTWELL Peter G. (Hewlett-Packard Lab., CA, USA) ,  PRUITT Beth L. (Stanford Univ., CA, USA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 22  号： 3  ページ： 779-793  発行年： 2013年06月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 一つのシリコンダイ上に集積した10種のセンサの設計,製作,特性調査を記す。温度,湿度,光強度,圧力,風速,風向,磁場,3軸方向への加速度を含む環境パラメータの同時モニタリングが可能である。これらの機能はわずか6工程のマスクステップで製作される。温度はアルミドープシリコンを使った抵抗熱検出器とバンドギャップ温度センサを使う。湿度は吸湿によるポリマーの誘電率変化,光強度はpn接合フォトダイオードとドープシリコンフォトレジスタ,そして圧力は圧電抵抗歪ゲージで変換される。風速と風向は二つの直交するホットワイヤ風速計で測定し,磁場強度はドープドホール効果センサによる。3軸の加速度は静電櫛形加速度計と,z軸には圧電抵抗歪ゲージを使っている。センサの集積はコスト,サイズ,パワーの大幅な削減になり,新しい応用への展開が可能ななる。

シソーラス用語： 固体素子 ,  *マイクロマシニング ,  製造 ,  圧電素子 ,  システム ,  *センサフュージョン ,  温度 ,  湿度 ,  放射強度 ,  圧力 ,  風速 ,  風向 ,  磁場 ,  加速度 ,  *MEMS ,  集積回路
準シソーラス用語： センサシステム ,  光強度 ,  静電素子

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の固体デバイス  (NC03150A)

タイトルに関連する用語 (3件)： 集積 ,  多機能 ,  環境