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J-GLOBAL ID:201302255664991074   整理番号:13A0083989

静的および動的作動領域が拡張された静電駆動マイクロビームの形状最適化

SHAPE OPTIMIZATION OF ELECTROSTATICALLY ACTUATED MICROBEAMS WITH EXTENDED STATIC AND DYNAMIC OPERATING RANGES
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資料名:
巻: 2010  号: Vol.10  ページ: 245-254  発行年: 2012年 
JST資料番号: W2290A  資料種別: 会議録 (C)
発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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