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J-GLOBAL ID：201302256680374871   整理番号：12A1798917

X線回折断層撮影法による転位の三次元撮像

Three-dimensional imaging of dislocations by X-ray diffraction laminography

著者 (5件)： HAENSCHKE D. (Karlsruhe Inst. of Technol. (KIT), Lab. for Applications of Synchrotron Radiation (LAS), 76128 Karlsruhe, DEU) ,  HELFEN L. (Karlsruhe Inst. of Technol. (KIT), Inst. for Photon Sci. and Synchrotron Radiation (IPS/ANKA), 76344 Eggenstein, DEU) ,  ALTAPOVA V. (Karlsruhe Inst. of Technol. (KIT), Lab. for Applications of Synchrotron Radiation (LAS), 76128 Karlsruhe, DEU) ,  DANILEWSKY A. (Univ. Freiburg, Kristallographie, Inst. fuer Geowissenschaften, 79104 Freiburg, DEU) ,  BAUMBACH T. (Karlsruhe Inst. of Technol. (KIT), Lab. for Applications of Synchrotron Radiation (LAS), 76128 Karlsruhe, DEU)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 101  号： 24  ページ： 244103-244103-4  発行年： 2012年12月10日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： X線回折コントラストによるシンクロトロン放射断層撮影法(laminography)は単結晶ウエハ中の転位の三次元撮像を可能にする。この技術の原理,必要な実験条件,再構成手順を概説した。刻み損傷を与え焼なました珪素ウエハ中の転位ループの三次元撮像し,本方法の実現可能性と潜在的能力を実証した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： X線回折 ,  *トモグラフィー ,  ウエハ【IC】 ,  画像再構成 ,  *シンクロトロン放射 ,  単結晶 ,  *転位ループ
準シソーラス用語： ケイ素ウエハ

分類 (1件)： 格子欠陥の観察・実験技術  (BK12020U)

タイトルに関連する用語 (4件)： X線回折 ,  断層撮影法 ,  転位 ,  撮像