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J-GLOBAL ID：201302256854040595   整理番号：13A0826288

空間光変調器に基づく1段階ホログラフィックリソグラフィーによる周期的導波路をもつ大面積フォトニック結晶の作製

Fabrication large area photonic crystals with periodic waveguide by one-step holographic lithography based on spatial light modulator

著者 (6件)： ZHONG Yongchun (Hong Kong Univ. Sci. & Technol., Hong Kong, CHN) ,  ZHONG Yongchun (Jinan Univ., Guangzhou, CHN) ,  MA Jie (Jinan Univ., Guangzhou, CHN) ,  WONG Kam Sing (Hong Kong Univ. Sci. & Technol., Hong Kong, CHN) ,  CHEN Zhe (Jinan Univ., Guangzhou, CHN) ,  ZHOU Jianying (Sun Yat-sen Univ., Guangzhou, CHN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8418  ページ： 84181F.1-84181F.5  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フォトニック結晶中に機能性欠陥を1段階で導入できることを証明した。多重ビーム位相制御ホログラフィックリソグラフィーそしてか回折光学素子(DOE)を用いることにより,周期的導波路をもつ大面積1次元そして2次元フォトニック結晶を作製した。ホログラフィックリソグラフィーは,多重ビーム干渉により生成される強度パターンを記録することに基づいている。一様な面積は4mm²までになり,1次元および2次元構造に数十の導波路を導入した。この技法は作製上の複雑さを実質的に低減させ,フォトニック結晶における機能的欠陥の精確さを有意に向上させた。また,この方法を用いて,C形状配列を形成できることを証明した。さらにこのホログラフィック技法は,準結晶や機能性メタ材料のような種々の1次元,2次元そして3次元フォトニック結晶を作製するための経路を提供できるだろう。

シソーラス用語： *空間光変調素子 ,  *フォトリソグラフィー ,  ホログラフィー ,  *光導波路 ,  導波路 ,  *結晶 ,  周期構造 ,  欠陥 ,  人工材料 ,  *フォトニック結晶
準シソーラス用語： *ホログラフィックリソグラフィー ,  メタ材料

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 空間光変調器 ,  段階 ,  ホログラフィックリソグラフィー ,  導波路 ,  大面積 ,  フォトニック結晶 ,  作製