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J-GLOBAL ID:201302257322315630   整理番号:13A0596858

ヘリウムイオン顕微鏡 新規メソ多孔性シリカと有機シリカ材料のイメージングのための新規ツール

Helium ion microscopy: a new tool for imaging novel mesoporous silica and organosilica materials
著者 (8件):
資料名:
巻: 49  号: 16  ページ: 1645-1647  発行年: 2013年02月25日 
JST資料番号: D0376B  ISSN: 1359-7345  CODEN: CHCOFS  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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ヘリウムイオン顕微鏡はde Broglie波長が短く,高い輝度を持つので,走査電子顕微鏡よりも高い分解能を有する。またより表面感受性である。そこで,ヘリウムイオン顕微鏡を用いて,絶縁性のキラルネマチックメソ多孔性ベンゼンシリカおよびエチレンシリカ膜をスパッタ被覆なしで観察した。その結果,細孔構造,細孔の大きさ,その結合性などの情報がナノメートルスケールで得られ,走査電子顕微鏡観察では得られない情報を得ることができた。
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分類 (1件):
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顕微鏡法 

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