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J-GLOBAL ID：201302257423081290   整理番号：13A0587889

窒素化ダイヤモンド状炭素膜の機械的性質と摩擦学的性質

Mechanical and Tribological Properties of Nitrogenated Diamond-like Carbon Films

著者 (3件)： Wang Chengbing (National Engineering Res. Center for Technol. & Equipment of Green Coating, Lanzhou Jiaotong Univ., Lanzhou) ,  Wang Zhou (State Key Lab. of Solid Lubrication, Lanzhou Inst. of Chemical Physics,Chinese Acad. of Sciences, Lanzhou) ,  Zhang Junyan (State Key Lab. of Solid Lubrication, Lanzhou Inst. of Chemical Physics,Chinese Acad. of Sciences, Lanzhou)
資料名： Tribology  (Tribology)
巻： 32  号： 1  ページ： 59-63  発行年： 2012年 
JST資料番号： C2407A  ISSN： 1004-0595  CODEN： MAXUE7  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 窒素化ダイヤモンド状炭素膜を,パルスDCプラズマ強化化学蒸着(PECVD)システムによって,Si基板に堆積した。X線光電子分光法(XPS),フーリエ変換赤外(FTIR)スペクトメータ,および走査電子顕微鏡(SEM)を利用して,箔の結合構造と化学的状態を特性評価した。摩擦学的特性をUMTの往復摩擦メータでテストした。窒化炭素膜の窒素成分が増加すると共に,sp2C成分が増加し,その硬度が減少し,他方,窒化炭素膜の摩擦平均係数が増加した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： ダイヤモンド状炭素 ,  機械的性質 ,  炭素 ,  薄膜 ,  プラズマCVD ,  X線光電子分光法 ,  走査電子顕微鏡 ,  プラズマ ,  Fourier変換 ,  状態 ,  ウエハ【IC】 ,  キャラクタリゼーション ,  FTIR分光法 ,  *特性
準シソーラス用語： 炭素膜 ,  プラズマ強化化学蒸着 ,  DCプラズマ ,  化学的状態 ,  PECVD ,  Si基板 ,  特性評価 ,  FTIR【分光法】 ,  *摩擦特性

分類 (1件)： 潤滑一般  (QB02010S)

タイトルに関連する用語 (4件)： 窒素 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  機械的性質 ,  性質