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J-GLOBAL ID：201302257741262202   整理番号：13A1899219

X線ナノビーム回折及び画像化のためのコンパクトな超高真空試料環境

Compact ultrahigh vacuum sample environments for x-ray nanobeam diffraction and imaging

著者 (6件)： EVANS P. G. (Materials Sci. and Engineering, Univ. of Wisconsin-Madison, Madison, Wisconsin 53706, USA) ,  CHAHINE G. (European Synchrotron Radiation Facility, Grenoble 38043, FRA) ,  GRIFONE R. (European Synchrotron Radiation Facility, Grenoble 38043, FRA) ,  JACQUES V. L. R. (European Synchrotron Radiation Facility, Grenoble 38043, FRA) ,  SPALENKA J. W. (Materials Sci. and Engineering, Univ. of Wisconsin-Madison, Madison, Wisconsin 53706, USA) ,  SCHUELLI T. U. (European Synchrotron Radiation Facility, Grenoble 38043, FRA)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 84  号： 11  ページ： 113903-113903-6  発行年： 2013年11月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： X線ナノビームは,小さい体積またはナノスケールの不均質性を持つ材料における構造上の洞察を得る,機会をもたらす。ナノビーム技法から得られる情報の実効的空間分解能は,X線光学系と試料の相対位置を制御できる安定性と精度に依存する。ナノビーム技法は回折,画像化及びコヒーレント散乱を含み,材料科学と凝縮系物理学の隅から隅までの応用を持つ。試料位置決めは,高めた温度において真空または制御したガス環境を提供するX線装置考案にとって,かなりの機械的難題である。この様な環境はしばしば,X線スポットサイズの小さい部分のオーダの,要求される位置確度が可能なナノ位置決め装置にとって,大きすぎる質量を持つ。同様にX線光学系を試料に対して1cmの近さに置く必要は,試料環境の全体的サイズへの制約を提起する。我々は,1~2kgの質量を持つコンパクトなイオンポンプ排気される超高真空室が,ナノ位置決め装置と共に統合される,機械的難題への解を説明する。その環境の全体的寸法は,それらのゾーンプレート集束光学系と一緒の使用を可能にするのに十分小さい。我々は高めた温度のナノビーム回折実験のための試料環境の設計を述べ,その場回折,反射率,及びSi基板の上のAu晶子の熟成の走査ナノビーム画像化を説明する。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *X線回折 ,  *X線画像 ,  ビーム ,  X線 ,  超高真空 ,  試料 ,  ナノ構造 ,  空間分解能 ,  干渉性散乱 ,  位置決め

分類 (1件)： X線技術  (BA02060D)

タイトルに関連する用語 (6件)： X線ナノビーム ,  回折 ,  画像化 ,  超高真空 ,  試料 ,  環境