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J-GLOBAL ID：201302258536391233   整理番号：13A1075000

セラミックスなど硬脆材料の超精密・微細研削加工技術 セラミックス,硬脆性材料のELID鏡面研削効果

著者 (4件)： 大森整 (理研) ,  春日博 (理研) ,  上原嘉宏 (理研) ,  成瀬哲也 (福島県テクノアカデミー郡山)
資料名： 機械技術  (Mechanical Engineering)
巻： 61  号： 7  ページ： 27-31  発行年： 2013年07月01日 
JST資料番号： F0145A  ISSN： 0451-9396  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光学・医療・情報産業においてガラスなどの硬脆材料のデバイスが増加し,その精密で微細な加工に対する技術開発が求められている。本特集では,この硬脆材料の超精密・微細研削について最新の研究開発動向と加工機械を紹介する。ELID法によるセラミックスその他の硬脆材料に対する鏡面研削効果について,近年公表されている代表的な材料に対する事例と応用を紹介することにより,ELID鏡面研削の可能性について例示した。

シソーラス用語： *研削 ,  セラミック ,  硬質 ,  材料 ,  表面粗さ ,  加工面 ,  光学素子
準シソーラス用語： *ELID研削 ,  *鏡面研削 ,  *硬脆材料

分類 (1件)： 研削  (QC03000R)

タイトルに関連する用語 (8件)： セラミックス ,  硬脆材料 ,  超精密 ,  微細 ,  研削加工 ,  硬脆性材料 ,  ELID ,  鏡面研削