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J-GLOBAL ID:201302258556082890   整理番号:13A0718738

軟X線発光スペクトロメータの回折格子効率の最適化及び特性決定

Optimizing and characterizing grating efficiency for a soft X-ray emission spectrometer
著者 (3件):
資料名:
巻: 20  号:ページ: 272-285  発行年: 2013年03月 
JST資料番号: W0763A  ISSN: 0909-0495  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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Canadian Light Sourceでは,共鳴弾性及び非弾性X線散乱(REIXS)ビームラインのX線発光スペクトロメータ(XES)エンドステーション用に,高分解能X線発光スペクトロメータを開発してきており,現在建設中である。その設計を通して回折格子効率のS行列伝播アルゴリズムに基づく厳密電磁計算と標準光線追跡法を併用して効率と分解能を同時に考慮している。新しいオープンソースソフトウェアは,原子間力顕微鏡検査(AFM)測定に基づく任意の溝プロファイルを勘案し,効率モデル化のために導入され,そのソフトウェアは,更に速い計算のためにマルチコアプロセッサ及び高性能計算資源も利用する。10%を越える理論回折格子効率,及び100eVから1000eVまでのエネルギー範囲にわたり分解能E/ΔE>2500が得られえた。測定と理論的効率スペクトルを波長の関数として比較して,その間の相違は,溝ジオメトリー誤差,酸化及び表面粗さなどを考慮して説明される。
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分類 (3件):
分類
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スペクトル計測及びスペクトロメータ  ,  X線技術  ,  光デバイス一般 
タイトルに関連する用語 (5件):
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