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J-GLOBAL ID：201302258575426419   整理番号：13A0821087

準静的共振器による非破壊厚み測定

Non-Destructive Thickness Measurement Using Quasi-Static Resonators

著者 (2件)： BOYBAY Muhammed S. (Antalya International Univ., Antalya, TUR) ,  RAMAHI Omar M. (Univ. Waterloo, ON, CAN)
資料名： IEEE Microwave and Wireless Components Letters  (IEEE Microwave and Wireless Components Letters)
巻： 23  号： 4  ページ： 217-219  発行年： 2013年04月 
JST資料番号： W0099A  ISSN： 1531-1309  CODEN： IMWCBJ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 誘電体厚みの非破壊測定用のマイクロ波センサを提案した。相補分割リング共振器(CSRR)構造に基づいたマイクロ波センサは導電性基板上の誘電体薄膜の厚みを測定する。このマイクロ波センサを設計し,試作し,試験した。このマイクロ波センサは従来の厚み測定ゲージに比較して高い精度を示した。このマイクロ波センサはプレーナPCB製作技術により製作され,他のマイクロ波部品と共に一体化することを安価で容易にする。

シソーラス用語： *厚み測定 ,  非破壊測定 ,  共振器 ,  誘電体薄膜 ,  *センサ
準シソーラス用語： 準静的共振器 ,  *マイクロ波センサ

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (2件)： 共振器 ,  厚み測定