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J-GLOBAL ID：201302258984601826   整理番号：13A0461870

かすり入射で小角X線錯乱によるMo/Si軟X線多層ミラーの特性評価

Characterization of Mo/Si soft X-ray multilayer mirrors by grazing-incidence small-angle X-ray scattering

著者 (13件)： HEINZMANN U ,  YAMAMOTO M ,  HARADA T ,  TSURU T ,  ROTH Sv ,  TIMMANN A ,  MAIER G ,  KECKES J ,  LUBY S ,  JERGEL M ,  CHITU L ,  MAJKOVA E ,  SIFFALOVIC P
資料名： VACUUM
巻： 84  号： 1  ページ： 19-25  発行年： 2009年 
JST資料番号： O6556A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (9件)： かすり ,  X線 ,  錯乱 ,  Mo ,  Si ,  軟X線 ,  多層 ,  ミラー ,  特性評価