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J-GLOBAL ID：201302259146978191   整理番号：13A0975104

プラズマ増強された化学蒸着酢酸リナリル薄膜の温度依存性電気インピーダンス分光測定

Temperature dependent electrical impedance spectroscopy measurements of plasma enhanced chemical vapour deposited linalyl acetate thin films

著者 (2件)： ANDERSON L.j. ,  JACOB M.v.
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 534  ページ： 452-458  発行年： 2013年05月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 絶縁層として最近開発されたリナリル酢酸のプラズマ蒸着膜を用いた金属-絶縁体-金属構造における電気インピーダンス測定を10Hzから100kHzの周波数領域において行い,本材料の誘電的および構造的特性を調べた。さらに,誘電特性に対する作製条件の影響を調べるために,種々の入力エネルギー条件で作製した試料について測定を行った。プラズマ蒸着リナリル酢酸薄膜は広い周波数範囲において主として電子因子からの寄与である低い誘電率をもつ。室温において調べた周波数範囲でのαおよびβ緩和ピークはどちらも観測されず,また誘電特性の顕著な入力エネルギー依存性も全くみられなかった。4つの加温条件下において測定し,一つの緩和ピークを観測した。このピークは極めて幅広で,誘電応答に対する多重緩和の寄与を示唆する。正則化法により緩和時間分布を決定した。3種類の厚みの試料に対して絶縁破壊電界を調べ,約1.8MV/cmと決定した。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *カルボン酸エステル ,  *プラズマCVD ,  温度依存性 ,  *スペクトロスコピー ,  *MIS構造 ,  周波数依存性 ,  誘電率 ,  *応答 ,  脂肪酸 ,  脂肪族アルコール ,  ジエン ,  ビニル化合物 ,  不飽和アルコール
準シソーラス用語： *電気インピーダンス分光法 ,  *誘電応答

分類 (3件)： 誘電体一般  (BM05010F) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  有機化合物の電気伝導  (BM03045F)

物質索引 (1件)： 酢酸リナリル

タイトルに関連する用語 (8件)： プラズマ ,  増強 ,  化学蒸着 ,  酢酸リナリル ,  薄膜 ,  温度依存性 ,  電気インピーダンス ,  分光測定