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J-GLOBAL ID:201302259284717404   整理番号:13A0584294

クロムダイヤモンド複合材中間層めっきによるダイアモンド膜の接着強さの改良

Improvement of Adhesive Strength of Diamond Films by Plating Cr-diamond Composite Interlayer
著者 (6件):
資料名:
巻: 27  号:ページ: 205-208  発行年: 2012年 
JST資料番号: C2432A  ISSN: 1000-324X  CODEN: WCXUET  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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ダイアモンド膜を,銅基板上に,二段階プロセスを用いて製作した。まず第一に,クロム(Cr)ダイヤモンド複合材中間層を銅基板上に電気メッキして,次に連続的ダイアモンド膜を,熱フィラメント化学蒸着(HFCVD)方式を用いて沈積した。界面特性を押込み試験により探究した。フィルム表面モルホロジー,位相構造および内部ストレスを走査電子顕微鏡(SEM),X線回折(XRD)およびRamanスペクトルにより解析した。結果は,ダイヤモンドの粒子がクロム層に深く埋め込まれ,複合物中間層の非晶質クロムがCVDプロセスでCr_3C_2に炭素化されていることを示している。低い内部ストレスがダイアモンド膜に検出され,Cr_3C_2マトリックスにおけるダイヤモンド粒子の深い定着の故に,フィルムと基板の間の良い接着強さが得られている。離層面積と半径方向亀裂ではなく,同心性亀裂が294N荷重押込み試験における押込の周辺で観察される。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST
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分類 (1件):
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薄膜一般 

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