文献

J-GLOBAL ID：201302259736636792   整理番号：13A0235919

ナノ秒レーザビーム加工を用いたステンレス鋼上の高アスペクト比マイクロピンアレイの製造

Fabrication of micro-pin array with high aspect ratio on stainless steel using nanosecond laser beam machining

著者 (3件)： LEE Se Won (School of Mechanical and Aerospace Engineering, Seoul National Univ., Gwanak 599 Gwanak-ro, Gwanak-Gu, Seoul ...) ,  SHIN Hong Shik (Dep. of Energy System Engineering, Korea National Univ. of Transportation, Chungju, Chungbuk, 380-702, KOR) ,  CHU Chong Nam (School of Mechanical and Aerospace Engineering, Seoul National Univ., Gwanak 599 Gwanak-ro, Gwanak-Gu, Seoul ...)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 264  ページ： 653-663  発行年： 2013年01月01日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この論文では垂直壁への付着のためにAISI304上に高アスペクト比のマイクロピンアレイをレーザビームアブレーションで作った。最近ロボット工学やバイオMEMSをはじめとする各分野で垂直壁への付着の研究が行われているが,それに対してマイクロピンアレイは最善の解決法であろう。垂直壁付着のためにはマイクロピンアレイは高いアスペクト比と長さおよび鋭い先端を有していなければならない。鋳直し層は高い表面張力を持つ酸化クロムとその高い粘性のために積上げられ,高いアスペクト比を持つマイクロピンを構成する。X線光電子分光により積上げ鋳直し層の特性を把握した。高アスペクト比マイクロピンアレイのための機械加工特性をレーザビーム加工パラメータに照らして検討した。それに加えて対象面の表面粗さとの関連で付着力を調べる実験を行った。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 壁 ,  *レーザ加工 ,  パルスレーザ ,  *アレイ ,  アスペクト比 ,  *レーザアブレーション ,  界面張力 ,  *表面粗さ ,  付着力 ,  *オーステナイト系ステンレス鋼 ,  X線光電子スペクトル ,  *マイクロマシニング
準シソーラス用語： AISI304 ,  *ナノ秒レーザ ,  *マイクロピンアレイ ,  *高アスペクト比 ,  垂直壁

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  特殊加工  (QC04000Y) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (3件)： ナノ秒レーザビーム加工 ,  ステンレス鋼 ,  高アスペクト比