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J-GLOBAL ID：201302259749553772   整理番号：13A1259451

マイクロ波を利用した革新的材料プロセッシング マイクロ波を用いた窒化チタンコーティング法

著者 (2件)： 滝澤博胤 (東北大 大学院工学研究科) ,  福島潤 (東北大 大学院工学研究科)
資料名： 金属  (Materials Science & Technology)
巻： 83  号： 8  ページ： 694-699  発行年： 2013年08月01日 
JST資料番号： F0157A  ISSN： 0368-6337  CODEN： KNZKA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 気相反応にマイクロ波を利用した技術の開発が進められている。本稿ではその中の一つ,TiNコーティングについて解説した。初めに概論とし気相反応プロセッシングと窒化物セラミックスについて簡単に述べた。そして,TiNコーティングについて取り上げ,TiNの物性,用途,これまでの成膜法としてのPVDおよびCVDについて述べた後,マイクロ波コーティングによる手法を示した。2.46GHz帯マイクロ波の利用による成膜,コーティング膜の性質,歯科インプラントへの利用について示した。

シソーラス用語： *チタン化合物 ,  *窒化物 ,  *被覆 ,  *マイクロ波加熱
準シソーラス用語： *窒化チタン

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロ波 ,  プロセッシング ,  窒化チタン ,  コーティング