文献

J-GLOBAL ID：201302259842963050   整理番号：13A1698167

熱モーメント下での静電操作FGMマイクロピンセット

Electrostatically actuated FGM micro-tweezer under the thermal moment

著者 (3件)： REZAEE M. (Univ. of Tabriz, Dep. of Mechanical Engineering, P. O. Box 51665-315, Tabriz, IRN) ,  SHARAFKHANI N. (Univ. of Tabriz, Dep. of Mechanical Engineering, P. O. Box 51665-315, Tabriz, IRN) ,  CHITSAZ A. (Univ. of Tabriz, Dep. of Mechanical Engineering, P. O. Box 51665-315, Tabriz, IRN)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 19  号： 11  ページ： 1829-1837  発行年： 2013年11月 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 以前の研究では,均質で同一材料を有するマイクロピンセットの機械的挙動を調べた。耐熱性と耐磨耗性のようなFGM(傾斜機能材料)の望まれる特性を考慮した本論文では,DC電圧および温度変動下でのFGMマイクロピンセットの機械的挙動を調べる。FGMマイクロピンセットの2つのマイクロビームは,互いに対称にマウントされ,マイクロビームの片方の側面は純金属で作られ,他方の側面は金属,セラミックの混合物である。セラミックの割合は,マイクロビーム厚さを通して指数関数的に変化する。DC電圧印加と温度変化によるマイクロビームの静的曲がりを支配する非線形方程式を導出し,ステップバイステップ線形化法とGalerkin法を用いて解決する。DC電圧および温度の変化に対するシステムの応答性と安定性を調べる。また,機械的挙動とシステム安定性に及ぼす幾何学的寸法,セラミックの割合,そしてマイクロビーム厚さを通したその割合の変化の影響を研究する。Copyright 2013 Springer-Verlag Berlin Heidelberg Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *作業工具 ,  マイクロマシン ,  *マイクロアクチュエータ ,  *静電気応用 ,  傾斜機能材料 ,  温度変動 ,  線形化法 ,  Galerkin法
準シソーラス用語： ナノピンセット

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： モーメント ,  ピンセット