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J-GLOBAL ID:201302259930428254   整理番号:13A0895840

ホログラフ的に加工したサブマイクロ構造の非線形先鋭化

Nonlinear sharpening of holographically processed sub-microstructures
著者 (2件):
資料名:
巻: 111  号:ページ: 929-934  発行年: 2013年06月 
JST資料番号: D0256C  ISSN: 0947-8396  CODEN: APHYCC  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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計算機ホログラムの波長分散はホログラフィックフェムト秒レーザ加工における空間的な焦点広がりの原因になる。この空間的な広がりが光軸からの距離で定義される回折位置だけに比例することを近軸近似から理論的に導いた。大きな分散条件下で実験を行い,加工した構造に対する回折位置の影響を解析した。処理実験では,高開口数のレンズと閾値エネルギーに近いレーザエネルギーを使ってサブマイクロ構造を作製した。回折位置に対する処理構造の広がりの非線形な依存性を発見した。広がりの程度はレーザ処理の非線形特性のために予想値よりもずっと小さかった。Copyright 2012 Springer-Verlag Berlin Heidelberg Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (3件):
分類
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固体デバイス製造技術一般  ,  レーザの応用  ,  ホログラフィーの応用 
タイトルに関連する用語 (5件):
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