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J-GLOBAL ID：201302259970590933   整理番号：13A1440132

大気圧における燃焼化学気相成長法による伝導性酸化亜鉛薄膜コーティング

Conductive zinc oxide thin film coatings by combustion chemical vapour deposition at atmospheric pressure

著者 (8件)： ZUNKE I. (Innovent e.V. Technol. Dev., Dep. of Surface Engineering, Pruessingstr. 27B, 07745 Jena, DEU) ,  HEFT A. (Innovent e.V. Technol. Dev., Dep. of Surface Engineering, Pruessingstr. 27B, 07745 Jena, DEU) ,  SCHAEFER P. (Chemnitz Univ. of Technol., Semiconductor Physics, Reichenhainer Str. 70, 09126 Chemnitz, DEU) ,  HAIDU F. (Chemnitz Univ. of Technol., Semiconductor Physics, Reichenhainer Str. 70, 09126 Chemnitz, DEU) ,  LEHMANN D. (Chemnitz Univ. of Technol., Semiconductor Physics, Reichenhainer Str. 70, 09126 Chemnitz, DEU) ,  GRUENLER B. (Innovent e.V. Technol. Dev., Dep. of Surface Engineering, Pruessingstr. 27B, 07745 Jena, DEU) ,  SCHIMANSKI A. (Innovent e.V. Technol. Dev., Dep. of Surface Engineering, Pruessingstr. 27B, 07745 Jena, DEU) ,  ZAHN D.r.t. (Chemnitz Univ. of Technol., Semiconductor Physics, Reichenhainer Str. 70, 09126 Chemnitz, DEU)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 532  ページ： 50-55  発行年： 2013年04月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 著者は,大気圧での酸化亜鉛(ZnO)の堆積のための燃焼化学気相成長法(C-CVD)システムを確立した。このC-CVD工程は,炎への基板の短い露出の特徴を持つ。また,それはインラインコーティング系として潜在的に適切である。基礎的研究は無ドープZnOに実行された。これらの層の特定の抵抗率は薄膜の厚みに強く依存して,増加する厚さに従って減少する。最低の抵抗率として,約2.0・10^-1Ωcmの値が達成された。紫外線光電子分光スペクトルは堆積ZnOの価電子帯構造を示す。仕事関数と原子価バンド端を決定した。コーティングされたガラス試料の透過を調査するためにUV-visスペクトルを収集した。これらのスペクトルから,バンドギャップエネルギーを得た。赤外分光法と同様にラマン分光法によって規則化ZnO結晶粒の存在を確認した。X線回折は,この結果を実証し,ヘキサゴナル構造を例証する。中間赤外領域において,前駆体の堆積が低温基板に対して検出された。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *化学蒸着 ,  *酸化亜鉛 ,  化合物半導体 ,  半導体薄膜 ,  *燃焼 ,  被覆 ,  電気抵抗率 ,  膜厚 ,  *導電性 ,  紫外光電子スペクトル ,  *価電子バンド ,  *仕事関数 ,  可視スペクトル ,  紫外スペクトル ,  *バンドギャップ ,  Ramanスペクトル ,  赤外分光法 ,  結晶粒 ,  規則化 ,  X線回折 ,  *微細構造 ,  光透過
準シソーラス用語： *燃焼化学蒸着 ,  紫外線光電子スペクトル ,  紫外可視スペクトル

分類 (4件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A) ,  その他の無機化合物の電気伝導  (BM03044O) ,  半導体結晶の電子構造  (BM02060N)

タイトルに関連する用語 (5件)： 大気圧 ,  燃焼 ,  化学気相成長法 ,  酸化亜鉛薄膜 ,  コーティング