表面工学のための薄膜の多層構造のプラズマ蒸着

文献

J-GLOBAL ID：201302260367380647 整理番号：13A0494172

Plasma Deposition of Thin film Multilayers for Surface Engineering

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巻： 1451 ページ： 38-42 発行年： 2012年
JST資料番号： D0071C ISSN： 0094-243X 資料種別：会議録 (C)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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