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J-GLOBAL ID：201302260905454630   整理番号：13A1767664

加速器をベースとしたBeyond EUV光源の検討

著者 (4件)： 坂上和之 (早稲田大 理工研) ,  鷲尾方一 (早稲田大 理工研) ,  遠藤彰 (早稲田大 理工研) ,  遠藤彰 (チェコ科学アカデミー)
資料名： レーザー学会研究会報告  (Reports on Topical Meeting of the Laser Society of Japan)
巻： 450th  ページ： 13-17  発行年： 2013年10月22日 
JST資料番号： L3352A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *光源 ,  フォトリソグラフィー ,  加速器 ,  Compton散乱 ,  Cherenkov放射 ,  輝度 ,  *紫外線 ,  高輝度 ,  超伝導加速器
準シソーラス用語： 光リソグラフィー ,  BEUV光源

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 加速器 ,  EUV光源