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J-GLOBAL ID：201302260918583951   整理番号：13A0344446

マイクロ歯車の精度計測を目指した微小径ロータリエンコーダの開発(グレーティングディスク放射格子溝の試作)

著者 (5件)： 黒河周平 (九大) ,  梅崎洋二 (九大) ,  松川洋二 (九大) ,  大西修 (九大) ,  土肥俊郎 (九大)
資料名： 日本機械学会機素潤滑設計部門講演会講演論文集
巻： 12th  ページ： 127-128  発行年： 2012年04月22日 
JST資料番号： L4344A  ISSN： 1348-3919  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロ歯車対のかみ合い伝達誤差の測定を目標に,かみ合い伝達誤差測定に必要となる微小径ロータリエンコーダのグレーティングディスク用放射格子溝の試作を,電子ビーム描画とドライエッチングを利用した電子ビームリソグラフィ技術を用いて行った。その結果,犠牲層のエッチング時間を工夫することで,アンダーカット現象が抑えられ,適切なパターン溝を作成できることが明らかとなった。また,適切なドライエッチング条件の下で,直径1mm以内の範囲に格子本数千本をもつグレーティングディスク溝を試作することに成功した。(著者抄録)

シソーラス用語： 歯車 ,  *測定精度 ,  センサ
準シソーラス用語： *マイクロ歯車 ,  *ロータリーエンコーダ

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  歯車,歯車装置  (QB01060O)

タイトルに関連する用語 (8件)： マイクロ歯車 ,  計測 ,  小径 ,  ロータリエンコーダ ,  開発 ,  放射 ,  格子 ,  試作