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J-GLOBAL ID：201302260969782061   整理番号：13A1592715

ダイヤモンドとアルミニウムとの間の熱境界コンダクタンスに及ぼすダイヤモンドの表面配向の影響

Effect of diamond surface orientation on the thermal boundary conductance between diamond and aluminum

著者 (2件)： MONACHON Christian ,  WEBER Ludger
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 39  ページ： 8-13  発行年： 2013年10月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： [100]及び[111]配向ダイヤモンド基板をAr:H及びAr:Oプラズマ処理,及び200°C加熱した1:1 HNO₃:H₂SO₄で処理した。これらの処理に続いて,アルミニウム層を基板表面に蒸着又はスパッタした。この層とダイヤモンド基板との間の界面音響反射係数に加えて熱境界コンダクタンス(TBC)を時間領域熱反射率(TDTR)実験で測定した。Ar:Hプラズマ処理表面については[111]配向面は32±5MWm^-2K^-1の最低測定TBCをもつ[100]配向面より40%低いコンダクタンスを示した。酸素終端ダイヤモンド表面(混酸又はAr:Oプラズマ処理)に導く処理は如何なるTBC異方性も示さずまた最高測定値は上部にスパッタAl層をもつAr:O₂プラズマで処理した試料に対して230±25MWm^-2K^-1であった。酸素終端表面のスパッタ層はそれらの蒸着対応物より系統的に高いTBCを示した。界面音響反射係数は同種の表面終端(O又はH)をもつ試料を比べた場合にTBCと定性的には相関したが,相互にH及びO終端した界面に比較した場合はこの相関は十分ではない。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： コンダクタンス ,  熱抵抗 ,  境界 ,  *ダイヤモンド ,  *アルミニウム ,  *界面 ,  優先配向 ,  プラズマ処理 ,  プラズマ ,  酸処理 ,  硫酸 ,  硝酸 ,  蒸着 ,  スパッタリング ,  音波 ,  反射率 ,  熱反射率 ,  計測
準シソーラス用語： *界面音響反射係数 ,  酸素プラズマ ,  時間領域測定 ,  *時間領域熱反射率 ,  *熱境界コンダクタンス

分類 (3件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  非金属のその他の熱的性質  (BL05040J) ,  その他の熱的変量の計測法・機器  (AD06040R)

タイトルに関連する用語 (5件)： ダイヤモンド ,  アルミニウム ,  境界 ,  コンダクタンス ,  表面配向