抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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クリーンブースは,簡便で低コストに清浄環境を実現できる手段として,様々な製造環境や研究環境に利用されている。クリーンルームの清浄度が十分でないときに補助的に併用することも多い。しかし,このクリーンブースからの排気は処理されることなく周辺に放出されるため,周辺の環境を汚染する原因になると考えられる。そこで,この排気を放出せずに還流させる還気式クリーンブースを提案した。