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J-GLOBAL ID：201302261012397006   整理番号：13A0351032

酸化亜鉛LED構造のSIMS分析: 定量および分析における問題

SIMS analysis of zinc oxide LED structure: quantification and analysis issues

著者 (5件)： STEVIE F.A. (North Carolina State Univ., NC, USA) ,  MAHESHWARI P. (North Carolina State Univ., NC, USA) ,  PIERCE J.M. (Lumenz, Inc., MA, USA) ,  ADEKORE B.T. (Lumenz, Inc., MA, USA) ,  GRIFFIS D.P. (North Carolina State Univ., NC, USA)
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 45  号： 1  ページ： 352-355  発行年： 2013年01月 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸化亜鉛LED構造の開発に関連し,CAMECA IMS-6Fを用いるSIMS分析により,潜在的p型ドーパント多数を調べた。ZnO基板内へのイオン注入を用い,ドーパントおよび関心元素を定量した。H,Li,N,F,Na,Mg,Al,Si,K,Ga,As,Se,Ag,CdおよびTeに対する相対感度因子値を取得した。元素多数に関係してZnOの定量法を確立し,質量干渉,マトリックス効果,深さ分解および試料装填など深さプロファイリング分析に際しての種々の問題を調べた。二次イオン種を慎重に選択することにより,O₂⁺一次ビームを用い,主要関心元素を監視することができた。量子井戸を含む酸化亜鉛構造を特性化する際に,SIMSは有効である。Mg_xZn_1-xOマトリックス中でn型ドーパントとしてAlを,またp型ドーパントとして用いる素子を作製した。

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  *発光ダイオード ,  *二次イオン質量分析 ,  イオン注入 ,  マトリックス効果 ,  深さプロフィル ,  量子井戸 ,  酸素ビーム ,  ドーパント ,  係数 ,  元素分析
準シソーラス用語： 感度係数

分類 (2件)： 無機化合物の物理分析  (CC03024P) ,  発光素子  (NC03082G)

タイトルに関連する用語 (5件)： 酸化亜鉛 ,  LED ,  SIMS分析 ,  定量 ,  分析