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J-GLOBAL ID：201302261647688694   整理番号：13A1342210

ゾル-ゲル法により調製したTiO₂薄膜の物性に及ぼす還元雰囲気中の熱処理の影響

The effect of heat treatment in the reducing atmosphere on the physical properties of TiO₂ thin films prepared by sol-gel method

著者 (4件)： GHORASHI Maryam Sadat (Materials and Energy Res. Center, P.O. BOX 14155-4777, Tehran, IRN) ,  HOSSEINNIA Azarmidokht (Materials and Energy Res. Center, P.O. BOX 14155-4777, Tehran, IRN) ,  HESSARI Fereydoun Alikhani (Materials and Energy Res. Center, P.O. BOX 14155-4777, Tehran, IRN) ,  GANJKHANLOU Yadolah (Materials and Energy Res. Center, P.O. BOX 14155-4777, Tehran, IRN)
資料名： Journal of Sol-Gel Science and Technology  (Journal of Sol-Gel Science and Technology)
巻： 67  号： 2  ページ： 236-243  発行年： 2013年08月 
JST資料番号： W0812A  ISSN： 0928-0707  CODEN： JSGTEC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多層ナノ構造のTiO₂薄膜を石英基板上にゾル-ゲルと浸漬堆積により調整し,20%H₂-80%Arの還元雰囲気下で熱処理した。次第に高い温度で熱処理することにより構造的,形態学的および光学的変化を引き起こした。これらをX線回折(XRD),原子間力顕微鏡,走査型電子顕微鏡,およびUV-可視分光法により調べた。薄膜の導電率を4点プローブ法により測定した。XRDの結果は,焼成後のTiO₂薄膜がアナターゼ単相から成ることを示し,1000°Cの熱処理後に完全にルチル相に形質転換した。膜の粒子は高温での熱処理後に凝集内の緻密化により成長した。二乗平均平方根粗さは0.58から3.36nm程度の範囲であった。部分的還元したTiO₂試料は酸素空孔により生成した新エネルギーバンドに起因する赤方偏移した透過バンドを有していた。薄膜の導電率も還元雰囲気での熱処理後に増加した。Copyright 2013 Springer Science+Business Media New York Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *酸化チタン ,  *薄膜 ,  *ゾル-ゲル法 ,  *熱処理 ,  *雰囲気 ,  還元性 ,  物理的性質 ,  石英 ,  被覆 ,  微細構造 ,  形態 ,  電気伝導率 ,  相組成 ,  アナターゼ型結晶 ,  ルチル型結晶 ,  構造相転移 ,  表面粗さ ,  結晶成長 ,  緻密化 ,  実効値 ,  空格子点 ,  バンド構造 ,  吸収スペクトル ,  赤方偏移 ,  還元 ,  多層膜 ,  脂肪族アルコール ,  脂肪酸 ,  薬物
準シソーラス用語： エネルギーバンド ,  ディップコーティング法 ,  *還元雰囲気 ,  酸素空孔 ,  *二酸化チタン

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

物質索引 (3件)： イソプロパノール ,  チタン(IV)テトライソプロポキシド ,  酢酸

タイトルに関連する用語 (7件)： ゾル-ゲル法 ,  調製 ,  TiO2 ,  薄膜 ,  物性 ,  還元雰囲気 ,  熱処理