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J-GLOBAL ID：201302261710502857   整理番号：13A1623291

微小電気機械容量性スイッチの誘電体帯電特性のRFバーンイン

RF Burn-in of Dielectric-charging Characteristics of Micro-electromechanical Capacitive Switches

著者 (5件)： MOLINERO D. (Lehigh Univ., PA, USA) ,  PALEGO C. (Lehigh Univ., PA, USA) ,  LUO X. (Lehigh Univ., PA, USA) ,  HWANG J. C. M. (Lehigh Univ., PA, USA) ,  GOLDSMITH C. L. (MEMtronics, TX, USA)
資料名： IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest  (IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest)
巻： 2012 Vol.1  ページ： 64-66  発行年： 2012年 
JST資料番号： A0636A  ISSN： 0149-645X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微小電気機械容量性スイッチは魅力ある特性を有しているが,信頼性はDCバイアス下の誘電体帯電により制約される。本論文では,自己作動に必要な値よりはるかに高いRF電力をDCバイアスなしで印加してスイッチを「バーンイン」させ,可動電極が静止電極を超えて誘電体と密着するようにした。この操作が,誘電体帯電傾向を永久的に抑え,より高信頼にできる可能性があることが分かった。二酸化ケイ素誘電体の結合配置が変化しDCバイアス下の電荷注入を妨げるためと推測される。

シソーラス用語： *スイッチ ,  *マイクロ波回路 ,  *MEMS ,  誘電体 ,  *信頼性試験 ,  帯電 ,  バイアス
準シソーラス用語： *バーンイン

分類 (2件)： 継電器・スイッチ  (NA05060K) ,  マイクロ波・ミリ波通信  (ND08020W)

タイトルに関連する用語 (6件)： 微小電気機械 ,  容量性 ,  誘電体 ,  帯電特性 ,  RF ,  バーンイン