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J-GLOBAL ID:201302261808614432   整理番号:13A0486459

様々な温度と周波数における1-オクタノールと相対湿度の検出に対する重合体利用化学キャパシタセンサ

Polymer-Based Chemicapacitor Sensor for 1-Octanol and Relative Humidity Detections at Different Temperatures and Frequencies
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巻: 13  号: 1-2  ページ: 519-527  発行年: 2013年01月 
JST資料番号: W1318A  ISSN: 1530-437X  CODEN: ISJEAZ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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ヒータと櫛型電極から成る重合体利用ガスセンサを開発した。温度依存性を除去するため,加熱センサプラットフォーム(SP)を設計した。数値解析は,ヒータ効率はセンサ位置とSP形状に依存し,実環境条件下での熱過渡解析は50μm厚みの微細加工Si片持梁が好ましいことを示した。様々な動作温度の下で揮発成分の相対湿度と1-オクタノールの検出に静電容量測定法を適用した。様々な揮発物質へのセンサ応答は,静電センサアレイは環境揮発物を識別できることを示した。
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